Avec le développement rapide de la technologie électronique, les processus de fabrication micro-nano sont de plus en plus largement adoptés dans la technologie de microfabrication. Pendant le traitement, lorsqu'un plasma à haute-densité et haute-énergie bombarde et érode les alliages d'aluminium, le quartz, la céramique et d'autres composants, une contamination particulaire est générée. Ces particules contaminantes peuvent avoir un impact significatif sur la qualité et le rendement des produits, raccourcissant ainsi la durée de vie des composants des équipements de production. Simultanément, les fluorures non volatils générés lors de la microfabrication peuvent se déposer à la surface des composants électroniques, provoquant des défauts, voire les rendant inutilisables. Par conséquent, la résistance du plasma est cruciale pour les composants des équipements de fabrication électronique. Actuellement, l'oxyde d'yttrium est largement utilisé dans les revêtements de surfaces céramiques en raison de ses excellentes propriétés physiques et chimiques permettant de réduire le risque de contamination des composants électroniques.
Avantages de l'application d'un revêtement d'oxyde d'yttrium :
(1) L'élimination du fluorure d'aluminium après l'application d'un revêtement d'oxyde d'yttrium réduit les particules de contaminants à la surface du produit ;
(2) La faible teneur en métaux de transition dans l'oxyde d'yttrium réduit le risque de contamination des composants internes par des métaux tels que K, Na, Fe, Cu et Ni ;
(3) L'oxyde d'yttrium a des propriétés diélectriques supérieures, et plus le revêtement est épais, plus sa résistance au claquage diélectrique est forte ;
(4) En tant que matériau composant résistant au plasma-, l'oxyde d'yttrium présente un faible taux de corrosion dans le plasma ;
(5) Le revêtement d'oxyde d'yttrium possède d'excellentes propriétés de résistance à la chaleur, de résistance à l'usure et d'isolation, améliorant ainsi l'applicabilité des produits céramiques dans le domaine de l'ingénierie électronique.